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本公司販賣真空幫浦
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1.水封式
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2.無油式
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SCROLL PUMP |
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碳片式 | ![]() |
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活塞式 | ![]() |
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3.油式
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單段 |
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雙段 |
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4.助力泵浦 |
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另有品牌:![]() |
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ALCATEL | ||||||
ORION | ||||||
ULVAC | ||||||
BUSCH | ||||||
EDWARDS | ||||||
DUPONT KRYTOX | ||||||
RIETSCHLE THOMAS | ||||||
BECKER
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本公司專業 維修各式真空泵浦 真空油 真空管件 碳精葉片組 油霧捕捉器 位於高雄市 |
真空泵基本上可以分為兩種類型:氣體傳輸泵浦和氣體捕集泵浦。 |
氣體傳輸與氣體捕集PUMP介紹: |
氣體傳輸幫浦是一種能使氣體不斷的吸入和排出,借以達到抽氣目的的真空泵。 |
氣體捕集泵是一種使氣體分子被吸附或凝結在泵的內表面上,從而減小了容器內的氣體分子數目而達到抽氣目的的真空泵。 |
真空在進行抽氣的過程中,通常會經歷以下的階段: |
大氣抽至中真空範圍,壓力隨時間之變化為自然對數的衰減,抽氣過程是非常的快速,時間很短。 |
而當從中度真空進入高真空範圍時,表面吸附性氣體的退吸決定最後壓力。 |
最後在高真空範圍時,表面吸附的氣體分子漸被抽完 。 |
原廠支援 |
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EDWARDS E2M40油迴轉式真空幫浦 | 魯式幫浦 |
小型油迴轉式真空幫浦 |
中、大型油迴轉式真空幫浦 |
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可應用之範圍產業》》 真空冶金製程技術-機械材料業。 |
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堅固、可靠 高抽氣速率 抽氣速率 375 ~ 3110 m3/h |
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應用廣泛 可經年長時間運轉 抽氣速率1.1 ~ 38.9 m3/h 終極壓力 2 × 10-3 mbar |
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212J,412J,612J,912J pumping speed 255~1240 m3/h Efficient, time proven design to deliver ease of maintenance Low 500 rpm operation for longest pump life cycle Low ultimate blank-off – pressures down to < 10-2 Torr Robust cast and ductile iron construction |
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607,615,61B,622,HV8000,HV30000 pumping speed 1020~6630 m3/h Rugged design for reliable and extended operation Simple maintenance features incorporated in design Vertical or horizontal gas flow |
工業用乾式幫浦 |
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半導體製程用乾式幫浦 |
無油渦捲式幫浦 |
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應用廣泛 堅固耐用、保養容易 抽氣速率 160 ~ 3450 m3/h 終極壓力 10-3 mbar |
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EDWARDS nXDS15 i乾式真空幫浦(新產品) 最先進渦捲式幫浦外觀造型和軸封氣密技術。 低於52 dB(A),業界規格最低噪音值標準。 操作便利,控制器螢幕採用人性化設計。 五年免保養,維修費用最低。 抽氣速率110、210、280、460 l/min共四機種。 |
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低運轉成本 低噪音、低震動 抽氣速率 105 ~ 800 m3/h 終極壓力 10-3 mbar |
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無油污染 耐用、低維護需求設計 抽氣速率 6.7 ~ 95 m3/h 終極壓力 1 × 10-2 mbar |
EXT and nEXT Series(渦輪分子幫浦) |
STP Series(全磁浮渦輪分子幫浦) |
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EXT 75DX,nEXT 240D,nEXT300D,nEXT400D,EXT 556H 42~540 l/s pumping speed 全乾式渦輪分子幫浦 |
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STP-iX455, STP 301/301C, STP 603/603C, STP 1003/1003C, STPH 301C, STPH 451C, STPA 803C, STPA 1303C, STPA 1603C , STPA 2203C,STP-XA2703C, STP-XA3203C, STP-XA4503C 300~4300 l/s pumping speed 設計 全磁浮五向動平橫設計,可承受異常震動和破大氣損壞 半導體,液晶面板領導品牌 適用PVD, CVD, Etch製程 |
EXPT Series(高真空抽氣系統) | ||
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EXPT pumping station pumping speed 42~400 l/s 同時操控和顯示Turbo/back pump/gauge功能 |
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81455高市仁武區仁雄路395巷43-17號 電話:(一線)07-372-0913 (二線)07-372-6635 (三線)07-372-6795 傳真 : 07-372-0923
E-MAIL:pumpf@seed.net.tw |
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南科分公司:台南縣新市鄉永華二街5號7樓 手機:0939-576-226 業務:吳銘元先生 |
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