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本公司販賣真空幫浦
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1.水封式
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2.無油式
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SCROLL PUMP |
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| 碳片式 |  |
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| 活塞式 |  |
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3.油式
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單段 |
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| 雙段 |
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| 4.助力泵浦 |
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另有品牌： LEYBOLD |
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| ALCATEL | ||||||
| ORION | ||||||
| ULVAC | ||||||
| BUSCH | ||||||
| EDWARDS | ||||||
| DUPONT KRYTOX | ||||||
| RIETSCHLE THOMAS | ||||||
BECKER
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| 本公司專業 維修各式真空泵浦 真空油 真空管件 碳精葉片組 油霧捕捉器 位於高雄市 | ||||||
| 真空泵基本上可以分為兩種類型：氣體傳輸泵浦和氣體捕集泵浦。 |
| 氣體傳輸與氣體捕集PUMP介紹： |
| 氣體傳輸幫浦是一種能使氣體不斷的吸入和排出，借以達到抽氣目的的真空泵。 |
| 氣體捕集泵是一種使氣體分子被吸附或凝結在泵的內表面上，從而減小了容器內的氣體分子數目而達到抽氣目的的真空泵。 |
| 真空在進行抽氣的過程中，通常會經歷以下的階段: |
| 大氣抽至中真空範圍，壓力隨時間之變化為自然對數的衰減，抽氣過程是非常的快速，時間很短。 |
| 而當從中度真空進入高真空範圍時，表面吸附性氣體的退吸決定最後壓力。 |
| 最後在高真空範圍時，表面吸附的氣體分子漸被抽完 。 |
原廠支援 |
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油迴轉式真空泵浦 |
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PASCAL SERIES雙級旋葉油式真空幫浦 |
RSV SERIES(魯式真空幫浦) |
輔助式魯式真空幫浦抽氣系統 |
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高信賴度 可經年長時間運轉 抽氣速率6.5 ~ 72 m3/h 終極壓力 2 × 10-3 mbar |
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堅固、可靠 高抽氣速率 抽氣速率 360 ~ 1310 m3/h |
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搭配各式前級幫浦, 可將工作範圍延伸至中真空甚或高真空區域範圍。 低壓下得到更大的抽氣速率。 抽氣速率:150~300~600~1000~2000 m3/h |
乾式真空泵浦 |
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A100L A300H SERIES |
ADP ADS SERIES TWO |
ACP15 |
ACP120 |
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最精巧的尺寸設計 低噪音、低震動 低運轉成本及高信賴渡 抽氣速率 95 ~ 320 m3/h 終極壓力 6×10-2~6.6×10-3 mbar |
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低耗能及高信賴性 適用於半導體及嚴苛製程 抽氣速率:112~1700 m3/h 終極壓力: 6 × 10-3 mbar |
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低運轉成本 低噪音、低震動 抽氣速率 14 ~ 37 m3/h 終極壓力 3×10-2mbar |
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無油氣及粉塵產生 抽氣速率:112 m3/h 終極壓力: 1.5 × 10-2 mbar |
高真空渦輪分子泵浦 |
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| MDP Series(拖曳式渦輪分子幫浦) | ATH-M Series(全磁浮渦輪分子幫浦) |
ATP Series(渦輪分子幫浦) |
Drytel Series(高真空抽氣系統) |
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高排氣壓力高達40 mbar |  |
ATH 400M, ATH1300M ,ATH1600M,ATH2300M 300~2100 l/s pumping speed 設計 全新磁浮五向動平橫 & N2 purge & Heater 設計 適用PVD, CVD, Etch製程 |
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ATP80 ,ATP100, ATP150, ATP400, ATP900 80~900 l/s pumping speed 全乾式渦輪分子幫浦 |
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Drytel 1025 7.5~30 l/s pumping system |
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81455高市仁武區仁雄路395巷43-17號 電話：(一線)07-372-0913 (二線)07-372-6635 (三線)07-372-6795 傳真 : 07-372-0923
E-MAIL:pumpf@seed.net.tw |
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南科分公司：台南縣新市鄉永華二街5號7樓 手機：0939-576-226 業務：吳銘元先生 |
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