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本公司販賣真空幫浦
1.水封式

 

 

 

2.無油式

 

 

 

SCROLL PUMP
碳片式
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3.油式
單段
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4.助力泵浦
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真空泵基本上可以分為兩種類型:氣體傳輸泵浦和氣體捕集泵浦。
氣體傳輸與氣體捕集PUMP介紹:
氣體傳輸幫浦是一種能使氣體不斷的吸入和排出,借以達到抽氣目的的真空泵。
氣體捕集泵是一種使氣體分子被吸附或凝結在泵的內表面上,從而減小了容器內的氣體分子數目而達到抽氣目的的真空泵。
真空在進行抽氣的過程中,通常會經歷以下的階段:
大氣抽至中真空範圍,壓力隨時間之變化為自然對數的衰減,抽氣過程是非常的快速,時間很短。
而當從中度真空進入高真空範圍時,表面吸附性氣體的退吸決定最後壓力。
最後在高真空範圍時,表面吸附的氣體分子漸被抽完 。

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所有尺寸同KASHIYAMA LEM40用於電子工業.晶圓切割.晶圓研磨系統

                     

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