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FOMBLIN真空油
FOMBLIN真空油
DUPONT KRYTOXDUPONT KRYTOX

NEOVAC

生產商:MORESCO

株式會社

產地:日本

 

合成系擴散泵油 SX, SY
合成系機械泵油 SO-M, SO-H
合成系機械泵油 SA-M, SA-H
石油系機械泵油 MR-100, MR-200, MR-250
石油系機械泵油 MR-200A, MR-250A
噴射增壓泵油 DB-12
快泵油 EP-83
真空膏 NEOVAC GREASE

 

  SX SY

蒸氣壓極低,高真空度得以維持。

擴散泵油的分子重量範圍獨特,幫助擴散泵快速達到額定真空度。

化學安定性極佳,不會與鐵、銅等的金屬催化劑產生化學反應。

優異的耐熱和抗氧化能力,使用期長。

蒸氣壓(25°C) Pa 7 x 10E-6 以下 1 x 10E-6 以下
Torr 5 x 10E-8 以下 1 x 10E-8 以下
到達壓力 Pa 1.3 x 10E-5 以下 6.6 x 10E-6 以下
Torr 1 x 10E-7 以下 5 x 10E-8 以下
作動溫度 °C 170 - 210 180 - 235
引火點 °C 235 250
動黏度(40°C) cSt 22.0 25.0
包裝: 1 公升 / 罐
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  SO-M SO-H

水的分離度極佳,高耐熱耐酸化,抗活躍性氣體,使用期更長。

蒸氣壓(50°C) Pa 4 x 10E-4 以下 4 x 10E-5 以下
Torr 3 x 10E-6 以下 3 x 10E-7 以下
引火點 °C 254 300
ISO 黏度等級 68 100
動黏度(40°C) cSt 63.7 95.0
包裝: 1 公升 / 罐
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  SA-M SA-H

合成真空泵油,具有極佳與水的分離度、高耐熱耐酸化、

抗活躍性氣體、和具有極低的飽和蒸氣壓,使用期更長,

因此,特別適用於半導體製造裝置等的活性氣體排氣系統。

SA-H 更是部分激光切割機的真空泵之指定使用真空泵油。

蒸氣壓(50°C) Pa 4 x 10E-4 以下 4 x 10E-5 以下
Torr 3 x 10E-6 以下 3 x 10E-7 以下
引火點 °C 260 300
ISO 黏度等級 68 100
動黏度(40°C) cSt 65.0 95.0
包裝: 1 公升 / 罐
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MR-100 MR-200 MR-250 MR-200A MR-250A
蒸氣壓(50°C) Pa 1.3 x 10E-2 以下 1.3 x 10E-3 以下 1.3 x 10E-3 以下 1.3 x 10E-3 以下 1.3 x 10E-3 以下
Torr 1.0 x 10E-4 以下 1.0 x 10E-5 以下 1.0 x 10E-5 以下 1.0 x 10E-5 以下 1.0 x 10E-5 以下
引火點 °C 230 256 270 252 270
ISO 黏度等級 46 68 100 68 100
動黏度(40°C) cSt 44.6 71.0 105.0 71.0 105.0
包裝: 4 公升 / 罐、 20 公升 / 桶
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蒸氣壓(25°C) DB-12 - 噴射增壓泵油

合成噴射式增壓泵油,具有極低蒸氣壓,噴射增壓泵能暢順

達到極限真空氣壓。 DB-12 的操作溫度範圍廣闊,減低電壓

波動所引致的泵操作不穩定。高耐熱抗氧化,延長使用期限。

Pa 6.7 x 10E-4 以下
Torr 5.0 x 10E-6 以下
作動溫度 °C 190 - 230
引火點 °C 212
動黏度(40°C) cSt 22.0
包裝: 20 公升 / 桶
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蒸氣壓(50°C) EP-83 - 快泵油

真空機械快泵的齒輪潤滑,螺絲泵適用。

Pa 1.3 x 10E-3 以下
Torr 1 x 10E-5 以下
引火點 °C 250
動黏度(40°C) cSt 83.0
包裝: 20 公升 / 桶
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外觀 真空膏-白色半透明雪油狀

真空系統潤滑及封邊用。

蒸氣壓(25°C) Pa 1 x 10E-3 以下
Torr 1 x 10E-5 以下
稠度 250
使用溫度範圍 °C 25 - 100
包裝: 40 克 / 盒
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